用于半导体行业的外延洗涤器
品质与技术 Made in Italy
Cireco Mpa Srl 设计和制造用于外延应用的洗涤器。
100% made in italy
我们的机器放置在 EPI 反应器气体出口的下游，用于生产经过适当处理的硅晶片，用于半导体行业的各种应用。
第一个减排阶段发生在位于前面的气体入口区域之后。
通过钟罩的气体遇到水的液体屏障，立即与水发生反应，导致硅烷解离成 HCl 和多孔二氧化硅，沉淀到罐中。
第二个也是最重要的减排阶段发生在逆流喷射的松散填充环的双层塔中。气体向上上升，而水通过喷嘴向下流动。在这里，HCl 和混合物被吸收，最终通过掉落进入罐中。根据所选型号，文丘里槽中有第三个砍伐阶段，其中有一个高接触面。
因此，在这种情况下，文丘里管既充当产生真空的系统，又充当减压系统。
为什么选择 Cireco MPA？
先进技术：我们的洗涤器配备了最新技术，以确保最高的效率和可靠性。
定制：我们提供定制解决方案，以满足每个客户的特定需求。
技术援助：我们的专家团队随时为您提供支持和帮助。
如需联系我们公司，您也可以填写下面的表格。所有字段均为必填字段。