EPI SCRUBBERS
Cireco Mpa Srl progetta e realizza scrubber per applicazione epitassiali.
Le nostre macchine si collocano a valle dell’uscita gas dei reattori EPI per la realizzazione dei wafer di silicio opportunamente trattati per essere utilizzati nell’industria dei semiconduttori per le più svariate applicazioni.
La prima fase di abbattimento avviene subito dopo la zona di ingresso gas posta frontalmente.
Il gas attraverso le campane incontra una barriera liquida di acqua con la quale reagisce immediatamente portando alla dissociazione dei silani in HCl e silica porosa che precipita nella vasca.
La seconda e più importante fase di abbattimento avviene nella torre a due strati di anelli di riempimento sfusi irrorati in controcorrente. Il gas sale verso l’alto mentre l’acqua, attraverso gli ugelli scende verso il basso. Qui avviene l’absorbimento di Hcl e idridi che per caduta finiscono nella vasca. A seconda del modello selezionato esiste un terzo stadio di abbattimento nella gola venturi, in cui vi è un’elevata superficie di contatto. Il Venturi dunque in questo caso funge sia da sistema per creare il vuoto sia da sistema di abbattimento.
La regolazione della depressione può avvenire in due modalità:
- A frequenza fissa in cui (specialmente per venturi ad aria) viene regolata la frequenza del ventilatore
- Retroazione del trasduttore di pressione, che legge la depressione istantanea in macchina e attraverso un sistema di regolazione PID gestito tramite inverter e sistema PLC che è in grado di regolare la frequenza del motore della pompa o ventilatore (a seconda del modello di venturi ad acqua o aria) in modo da mantenere la depressione istantanea al valore di set point selezionato dall’utente. In questo modo si garantisce la stabilità del sistema anche in caso di variazioni di portata di gas.
Trattamento dei gas di scarico con scrubber a umido
I nostri scrubber per reattori EPI sono dotati dei seguenti sistemi:
- Pulizia manuale o automatica delle campane in ingresso secondo gestione da reattore
- Gestione della portata dell’acqua in ingresso tramite segnale da reattore per il risparmio idrico
- Segnalazione di allarmi e guasti tramite pannello di controllo, semaforo e remoto
- Diluizione dei gas in uscita tramite ventilatore
- Opzione per l’aggiunta di sensori di livello o sensori per il controllo di perdite d’acqua
- Opzione per scarico dell’acqua a livello superiore
Di seguito riportiamo i principali modelli utilizzati e le rispettive schede tecniche
Air venturi scrubbers
Wet venturi scrubbers
Dimensionamento e portata:
La capacità di trattamento dello scrubber viene calibrata in base al volume di gas da depurare, garantendo l’efficienza di abbattimento desiderata.
Dimensioni e ingombro complessivo dell’impianto possono essere adattati per ottimizzare l’integrazione nello spazio disponibile presso il cliente.
Funzionalità e accessori:
Opzioni avanzate come sistemi di controllo automatico del pH, sensori di livello e di temperatura, sistemi di diluizione dei gas in uscita e scarico automatico dell’acqua possono essere integrati per soddisfare specifiche esigenze di processo.
Cireco MPA offre inoltre la possibilità di implementare sistemi di monitoraggio e controllo remoto per la supervisione in tempo reale dell’impianto.
Interfacce e compatibilità:
Gli scrubber EPI possono essere interfacciati con altri sistemi di depurazione o di controllo presenti presso il cliente, garantendo una perfetta integrazione nel processo produttivo.
La progettazione modulare facilita l’adattamento a diverse configurazioni impiantistiche.
Collaboriamo attivamente con il cliente fin dalla fase di progettazione per comprendere appieno le sue esigenze e sviluppare la soluzione di depurazione più efficace e personalizzata. L’azienda offre un servizio di consulenza completo per la scelta dei materiali, il dimensionamento corretto e l’implementazione di funzionalità specifiche. In questo modo, gli scrubber EPI Cireco MPA si configurano come soluzioni flessibili e affidabili in grado di coniugare elevata efficienza di abbattimento, personalizzazione su misura e rispetto degli elevati standard qualitativi che da sempre ci contraddistinguono.
